クエストのお客様である半導体製造会社様は24時間365日で製造ラインを運用されています。クエストが運用保守を行っている生産システムも当然24時間365日で稼働しています。

生産ラインは全自動化されていて、ロット(ウェーハをまとめたもの)がラインに投入されると自動で製造装置のところまで搬送装置が運び、自動でロットを製造装置が取込み、スタートします。やがて自動で処理が終了し、製造装置が自動でロットを取り出し、次の製造装置まで搬送装置が自動でロットを運びます。このように製造ラインは全自動化されていますので、生産システムが全ての搬送装置や製造装置に指示を出す必要があります。

課題と経緯

製造ラインを停めるリスクがありますが・・・

製造ラインは全て自動化されていますので、生産システムのストップがイコール製造ラインのストップに繋がります。また、生産システムの誤動作(バグ)がロットの歩留りを落とすなどの悪影響を与えます。

一方、お客様の製造ラインでは歩留りを少しでも向上させるために、日夜、現場改善が行なわれています。改善は処理条件などのマスタデータを変更するか、あるいはシステムを改修するかで実現されます。このように24時間365日で生産ラインを運用しながら、マスタデータを変更しリリースしたり、プログラムを変更しリリースしたりしなければなりません。常に製造ラインを止めないよう、また誤動作させないように細心の注意が必要です。

導入

2交代制とテスト専門部隊の設置でリスク回避

そこでクエスト運用保守を2交代制で行っています。夜中でも現場で対応できる体制を敷き、大きなトラブル等がありましたら、お客様へのコールも含め緊急連絡網を整備し、いつでもトラブルの対応ができる体制をとっています。

また、プログラムのバグを生産システムに持ち込まないように、生産システムと同様な環境で、テストできる環境を整備していただきました。テストの専門部隊を置き、開発部隊が単体テスト結合テストまで済ませたものを、本番と同様な環境で客観的にテストを行います。バグが無いことが確認できますと本番環境へリリースします。

効果と展望

IoT、AIを導入しても高信頼性を維持

2交替制とテスト専門部隊を置くことにより、生産システムの稼働信頼性が格段にアップしました。お客様の製造ラインでは、どんどん装置を導入し、増産されています。それに合わせ、クエストの体制も効率よく増強しています。

図は半導体の生産ラインとその関連システムを含めた機能構成図です。システム数が多く、互いに複雑に関連しています。運用保守もその関連性を理解しないとトラブルが発生します。また、お客様はより効率化を目指すために、既にIoT化やAI化にも取り組んでおられます。クエストもお客様と一緒に新しい技術の習得に努め、新しい技術をいかにトラブルなく製造ラインに導入し、運用するかを日夜考え、施策を実行しています。

図は半導体の生産ラインとその関連システムを含めた機能構成図です。システム数が多く、互いに複雑に関連しています。

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